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中国光刻技术突破大势所趋,ASML面临新挑战

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中国光刻技术突破大势所趋,ASML面临新挑战

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南宫娱乐 2026-10-18 431 阅读 约 5.5 分钟

近年来,中国在光刻技术领域的进步引发了关注。特别是,在刚刚发布的EUV光源样机中,其国产化率已高达90%,超出了许多人的预期。ASML原本希望通过掌控先进设备来限制中国的发展,谁知反而催生了国产替代的加速。

长期以来,ASML为了保持自身在EUV光刻机市场的绝对优势,设置了重重障碍,试图阻止中国获取这些关键设备。然而,随着中国技术的不断发展,这种封锁策略开始出现疲态。最近,在上海工博会上,朗道燧岩展示的EUV光源样机,引发了行业的高度关注。这套系统采用了激光等离子体(LPP)技术,可以产生13.5纳米极紫外光,这正是当前EUV光源的核心技术。

虽然这款光源样机尚处于实验阶段,距离实际量产还有3到5年的时间,但它标志着中国在过去被视为技术难关的领域正逐渐走向产业化。这种转变让从前的对比变得更加复杂:如今,不再是中国是否具备此项技术,而是中国何时可以将其转化为实际生产能力。 南宫娱乐

与此同时,中国并不把全部希望寄托于EUV技术的发展。由于EUV技术需要时间积累,当前的应对策略是充分利用现有的深紫外(DUV)技术,通过多次曝光和工艺优化等手段继续推进先进制造。这并非没有代价,因为成本可能上升,但它确保了制造进程不会停滞。

值得注意的是,ASML的CFO近日公开反对美国继续收紧对中国DUV设备的限制,认为过度的监管反而会加速中国自主技术的发展。ASML也意识到,尽管限制措施在短期内可能减缓竞争,但从长远来看,自主研发的动力会进一步增强。

此外,中国还在探索其他技术路线,例如纳米压印。这种技术与传统光刻不同,直接在材料表面复制纳米级图形,有潜力在降低设备复杂性和制造成本方面取得突破。虽然当下纳米压印技术在先进逻辑芯片领域尚需时日,但这表明了中国在技术路径选择上的灵活性。 南宫娱乐

最后,随着中国技术路线的多元化,欧洲发现自身在全球半导体供应链中的脆弱性。例如,一家名为辛德豪瑟的德国企业因过度依赖中国稀土而面临经营风险,这为欧洲与中国的技术对抗增添了新的不确定性。反过来,过去欧洲对中国技术限制的讨论,正悄然转向对自身供应链的担忧。

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